半導(dǎo)體可靠性測試方法高低溫試驗(yàn)箱：

試件：

多個(gè)樣品在同一試驗(yàn)箱進(jìn)行高溫實(shí)驗(yàn)時(shí)，應(yīng)保證所有樣品都處在同一環(huán)境溫度下，并具有相同的安裝條件。
對于散熱樣品而言，各個(gè)試件之間不能因輻射散熱而影響到其它試件，即試件間隔應(yīng)足夠大，這樣對于單個(gè)試件來說，其他散熱試件輻射到其上的熱量所造成的溫度變化就很小，到可忽略的程度。
對于非散熱試件，溫度保持不變的高溫或低溫試驗(yàn)，試件間的間距可以不做要求，因?yàn)闇囟群愣ê笤嚰臏囟扰c溫度試驗(yàn)箱內(nèi)的溫度保持一致，不發(fā)生熱量交換，試件間的間距對試驗(yàn)不會產(chǎn)生影響。
非散熱試件的溫度變化試驗(yàn)試件間則應(yīng)該保持間隔，使試驗(yàn)件之間有足夠的空氣流動，加速試件與溫度試驗(yàn)箱之間的熱交換，使試件盡快達(dá)到試驗(yàn)的溫度。

試驗(yàn)方法：

1.溫度下限工作試驗(yàn):受試樣品先加電運(yùn)行測試程序進(jìn)行初試檢測。在受試樣品不工作的條件下，將箱內(nèi)溫度逐漸降到0℃,待溫度穩(wěn)定后，加電運(yùn)行測試程序5h，受試樣品功能與操作應(yīng)正常，試驗(yàn)完后，待箱溫度回到室溫，取出樣品，在正常大氣壓下恢復(fù)2h。

推薦檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：受試樣品功能與操作應(yīng)正常，外觀無明顯偏差。

2.低溫儲存試驗(yàn)將樣品放入低溫箱，使箱溫度降到-20℃，在受試樣品不工作的條件下存放16h，取出樣品回到室溫，再恢復(fù)2h，加電運(yùn)行測試程序進(jìn)行后檢驗(yàn)，受試樣品功能與操作應(yīng)正常，外觀無明顯偏差。為防止試驗(yàn)中受試樣品結(jié)霜和凝露，允許將受試樣品用聚乙稀薄膜密封后進(jìn)行試驗(yàn)，必要時(shí)還可以在密封套內(nèi)裝吸潮劑。

3.溫度上限工作試驗(yàn)受試樣品先進(jìn)行初試檢測。在受試樣品不工作的條件下，將箱溫度逐漸升到40℃，待溫度穩(wěn)定后，加電運(yùn)行系統(tǒng)診斷程序5h，受試樣品功能與操作應(yīng)正常，試驗(yàn)完后，待箱溫度回到室溫，取出樣品，在正常大氣壓下恢復(fù)2h。

4.高溫儲存試驗(yàn)將樣品放入高溫箱，使箱溫度升到55℃，在受試樣品不工作的條件下存放16h，取出樣品回到室溫，恢復(fù)2h。